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v 在噴涂法中，噴嘴將要涂抹的溶液噴在晶圓上。經(jīng)過優(yōu)化后的晶圓上方噴嘴移動路徑可以實(shí)現(xiàn)在襯底上均勻的涂層。噴涂所用的液體通常粘度極低，以確保形成細(xì)小的液滴
v 噴涂法即使在凹凸圖形上也能形成均勻涂層，因此它是這種結(jié)構(gòu)的方法。噴涂法還能噴涂方形的襯底
v 對起伏臺階幾微米到600微米以上的三維微結(jié)構(gòu)加工
v 基板尺寸直徑為200 mm，方形邊長為 6inch
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有掩膜光刻機(jī)
